采用物方远心光路和成像法进行在线尺寸检测。检测的核心部件为光电测头，每组测头由发射镜头和接收镜头组成。发射镜头内点光源发出的光通过发射透镜形成平行光视场射向接收镜头。平行光再由接收透镜聚焦，通过位于焦点位置的光阑小孔后在接收单元上成像。
用以确定公差带相对于零线位置的上偏差或下偏差，一般为靠近零线的那个偏差。相同条件下多次测量同一量时，误差的大小和正、负保持不变，或随条件变化而按某种确定的规律变化的误差。
通过外泄气体所产生的效应入手，也就是说当把工件和压缩空气气源切断后(压力测量法)，如果气体外泄则工件内部的压力必然要发生变化，我们要测量的便是这个压力变化。或者，当工件或压缩空气气源一直保持联接时(流量测量法)，如果气体外泄则工件内部将不断地有气流通过，我们要测量的便是这个气流的流量。无论采用压力测量法或流量测量法，均有几种相应的不同型号的仪器供用户选择。
